Ushbu spetsifikatsiya N - M10-sonli silikon gullari (m10) ilg'or quyosh hujayralari uchun. Fosfor dopingli CZOCHRALSKI usuli orqali ishlab chiqariladi. Uglerod kontsentratsiyasi (8E17 gacha / sm³ gacha), past uglerod kontsentratsiyasi (5E16 gacha), etik zichligi 3 daraja va 3 darajagacha<100>.
Elektrning asosiy xususiyatlari 1,0 dan 7,0 donagacha va baland ozchilik tashuvchi (kamida 1000 m9) ga chidamlilik oralig'ini o'z ichiga oladi.
Onlar psevdo - kvadrat geometriyada 182 mm (tolizatsiyasi 0,25 mm), diametrli 247 mm (tolizatsiya 0,25 mm) va qo'shni tomonlar 90 daraja (bag'rikenglik 0,2 daraja). 150 dan 180 mkm gacha (tozantlar bilan) qalinligining o'zgarishi, ular minimal qalinlikning o'zgaruvchanligini ta'minlaydi (27 mkm maksimal 2 mkm). Sirtning sifati qat'iy nazorat qilinadi ("kesilgan va tozalangan" ("kesilgan va tozalangan" ("3}} -} - {{2 mkm), kamon va parchani (maksimal 40 mkm) cheklaydi. Ushbu katta format sanoatning optimallashtirilganligini optimallashtirilgan yoritish uchun qo'llab-quvvatlaydi.
1. Moddiy xususiyatlar
|
Mulk |
Spetsifikatsiya |
Tekshirish usuli |
|
O'sish usuli |
Tog 'jinsi |
|
|
Kristalli |
Monokristalin |
Imtiyozli etch usullari(ASTM F47-88) |
|
Ishlashuvchanlik turi |
N - tur |
Napson EC-8TPN |
|
Dopant |
Fosfor |
- |
|
Kislorod kontsentratsiyasi [OI] |
Dan kam yoki unga teng8e +17 in / sm3 |
FTir (ASTM F121-83) |
|
Uglerod kontsentratsiyasi [CS] |
Dan kam yoki unga teng5e +16 in / sm3 |
FTir (ASTM F123-91) |
|
Etch Pit zichligi (joylashtirish zichligi) |
Dan kam yoki unga teng500 sm-2 |
Imtiyozli etch usullari(ASTM F47-88) |
|
Sirt yo'nalishi |
<100>± 3 daraja |
X - ray difment usuli (ASTM F26-1987) |
|
Psudo kvadrat tomonlarining yo'nalishi |
<010>,<001>± 3 daraja |
X - ray difment usuli (ASTM F26-1987) |
2.Elamcrik xususiyatlari
|
Mulk |
Spetsifikatsiya |
Tekshirish usuli |
|
Chidamlilik |
1.0-7.0 Ō.CM
|
Tekshirish tizimi |
|
MCCT (ozchiliklar tashuvchisi umrbod) |
1000 m dan katta yoki teng |
Sinton BCT-400
O'tkinchi
(in'ektsiya darajasi bilan: 5e14 sm-3)
|
3.Grezometry
|
Mulk |
Spetsifikatsiya |
Tekshirish usuli |
|
Geometriya |
Psudo maydoni |
|
|
Bevel chekchining shakli
|
aylana | |
|
Yon uzunligi |
182 ± 0,25 mm
|
Tekshirish tizimi |
|
Wast diametri |
ph247 ± 0,25 mm |
Tekshirish tizimi |
|
Qo'shni tomonlar orasidagi burchak |
90 daraja ± 0,2 daraja |
Tekshirish tizimi |
|
Qalinlik |
180 ﹢ 20/﹣10 µm
175﹢ 20/﹣10 µm
170﹢ 20/﹣10 µm
165﹢ 20/﹣10 µm
160﹢ 20/﹣10 µm
150﹢ 10/﹣10 µm
|
Tekshirish tizimi |
|
TTV (umumiy qalinligi o'zgarishi) |
Dan kam yoki unga teng 27 µm |
Tekshirish tizimi |
4.Sirt xususiyatlari
|
Mulk |
Spetsifikatsiya |
Tekshirish usuli |
|
Kesish usuli |
Doka |
-- |
|
Sirt sifati |
kesilgan va tozalanganidek, ko'rinadigan ifloslanish, (moy yoki yog ', barmoq izlari, sovun dog'lari, epoksi / elim dog'lari) ruxsat berilmaydi) |
Tekshirish tizimi |
|
Belgilar / qadamlar |
15 mkm dan kam yoki teng |
Tekshirish tizimi |
|
Kamon |
40 mkm dan kam yoki unga teng |
Tekshirish tizimi |
|
Urinmoq |
40 mkm dan kam yoki unga teng |
Tekshirish tizimi |
|
Chip |
0.5 mm Max 2/5 mm Max 2 / Dems uzunligi 0,3 mm dan kam yoki teng bo'lgan chuqurlik; yo'q v - chip |
Yalang'och ko'zlar yoki qon tekshiruv tizimi |
|
Mikro yoriqlari / teshiklari |
Ruxsat berilmagan |
Tekshirish tizimi |
Issiq teglar: n - M11 M11 Monokristalin Silikon vospitsifikatsiya, Xitoy, etkazib beruvchilar, ishlab chiqaruvchilar, Xitoyda ishlab chiqarilgan zavodlar
