Diametri 295 mm bo'lgan 210mmx210mm M12 monokristalli kremniyli vafli M2 plastinadan 80,5% ko'proq.
1 Moddiy xususiyatlar
Mulk | Texnik xususiyatlari | Tekshirish usuli |
O'sish usuli | CZ | |
Kristallik | Monokristalli | Etchli imtiyozli usullar（ASTM F47-88） |
Supero'tkazuvchilar turi | P turi | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant | Bor, Galliy | - |
Kislorod konsentratsiyasi [Oi] | ≦8E+17 at / sm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Uglerod konsentratsiyasi [CS] | ≦5E+16 / sm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Chuqurlik chuqurligi zichligi (dislokatsiya zichligi) | ≦500 sm-3 | Etchli imtiyozli usullar（ASTM F47-88） |
Yuzaki yo'nalish | & lt; 100> ± 3 ° | Rentgen difraksiyasi usuli (ASTM F26-1987) |
Psevdo kvadrat tomonlarining yo'nalishi | & lt; 010> ;,< 001=""> ± 3 ° | Rentgen difraksiyasi usuli (ASTM F26-1987) |
2 Elektr xususiyatlari
Mulk | Texnik xususiyatlari | Tekshirish usuli |
Qarshilik | 0,5-1,5 Ω sm | Gofretni tekshirish tizimi |
MCLT (ozchilikni tashuvchisi muddati) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (in'ektsiya darajasi bilan: 1E15 sm-3) |
3Geometriya
Mulk | Texnik xususiyatlari | Tekshirish usuli |
Geometriya | To'liq kvadrat | |
Gofret Yon uzunligi | 182 ± 0,25 mm | gofretni tekshirish tizimi |
Gofret diametri | -247 ± 0,25 mm | gofretni tekshirish tizimi |
Qo'shni tomonlar orasidagi burchak | 90° ± 0.2° | gofretni tekshirish tizimi |
Qalinligi | 180﹢20/﹣10 µm; 170﹢20/﹣10 µm | gofretni tekshirish tizimi |
TTV (qalinlikning umumiy o'zgarishi) | ≤27 µm | gofretni tekshirish tizimi |
4 Yuzaki xususiyatlari
Mulk | Texnik xususiyatlari | Tekshirish usuli |
Kesish usuli | DW | -- |
Yuzaki sifati | kesilgan va tozalangan holda, hech qanday ifloslanish yo'q, (yog 'yoki surtma, barmoq izlari, sovun doglari, atala doglari, epoksi / elim doglari taqiqlanadi) | gofretni tekshirish tizimi |
Kesish belgilari / qadamlar | ≤ 15µm | gofretni tekshirish tizimi |
Ta'zim | ≤ 40 µm | gofretni tekshirish tizimi |
Çözgü | ≤ 40 µm | gofretni tekshirish tizimi |
Chip | chuqurlik ≤0,3 mm va uzunlik ≤ 0,5 mm Maks 2 / dona; V-chip yo'q | Yalang'och ko'zlar yoki gofretni tekshirish tizimi |
Mikro yoriqlar / teshiklar | Ruxsat berilmagan | gofretni tekshirish tizimi |
Issiq teglar: p turi 182mm monokristalli quyosh gofreti, Xitoy, etkazib beruvchilar, ishlab chiqaruvchilar, fabrika, Xitoyda ishlab chiqarilgan
