N - turi M2 Monokristalin Silikon xodimi kvazi - maksimal, standart burchakli makkajo'xori va standart modul tartibi va optimallashtirilgan yorug'lik bilan moslikni muvozanatlash. CZ usuli va fosfor dopingidan foydalangan holda ishlab chiqarilgan, u yuqori moddiy boylikni taklif qiladi,<100>yo'naltirish va past joylashtirish zichligi (500 sm dan kam). N - tipdagi o'tkazuvchanlik, keng bardoshli diapazon (0,2-12-12 km) va yuqori ozchiliklar tashuvchisi, bu yuqori {{6} ms. M2 vujudini asosiy p'talabalarida barqaror ishlash uchun ishonchli va ishonchli format bo'lib qolmoqda.
1. Moddiy xususiyatlar
|
Mulk |
Spetsifikatsiya |
Tekshirish usuli |
|
O'sish usuli |
Tog 'jinsi |
|
|
Kristalli |
Monokristalin |
Imtiyozli etch usullari(ASTM F47-88) |
|
Ishlashuvchanlik turi |
N - tur |
Napson EC-8TPN |
|
Dopant |
Fosfor |
- |
|
Kislorod kontsentratsiyasi [OI] |
Dan kam yoki unga teng8e +17 in / sm3 |
FTir (ASTM F121-83) |
|
Uglerod kontsentratsiyasi [CS] |
Dan kam yoki unga teng5e +16 in / sm3 |
FTir (ASTM F123-91) |
|
Etch Pit zichligi (joylashtirish zichligi) |
Dan kam yoki unga teng500 sm-2 |
Imtiyozli etch usullari(ASTM F47-88) |
|
Sirt yo'nalishi |
<100>± 3 daraja |
X - ray difment usuli (ASTM F26-1987) |
|
Psudo kvadrat tomonlarining yo'nalishi |
<010>,<001>± 3 daraja |
X - ray difment usuli (ASTM F26-1987) |
2.Elamcrik xususiyatlari
|
Mulk |
Spetsifikatsiya |
Tekshirish usuli |
|
Chidamlilik |
0,2-2,0 Ō.MM 0,5-3.5 Ō.CM
1.0-7.0 Ō.CM
1.5-12 Ō.CM
|
4-sinovga chidamlilik
o'lchash
|
|
MCCT (ozchiliklar tashuvchisi umrbod) |
1000 m dan katta yoki teng (chidamlilik> 1.0 ō.m) 500 mk dan katta yoki teng (chidamlilik <1.0 ō.m
|
Sinton BCT-400 O'tkinchi
(in'ektsiya darajasi bilan: 5e14 sm-3)
|
3.Grezometry
|
Mulk |
Spetsifikatsiya |
Tekshirish usuli |
|
Geometriya |
kvazi maydoni
|
Vernier Kaliper
|
|
Diametri
|
210 ± 0,25 mm
|
Vernier Kaliper |
|
Kvartiraga tekis
|
156,75 ± 0,25 mm
|
Vernier Kaliper
|
|
Burchak uzunligi
|
8,5 ± 0.5mm
|
Keng - o'rindiqlar maydoni / hukmdor
|
|
Burchaklilik
|
90 daraja ± 0,2 daraja |
Burchak hukmdori
|
|
Burchak shakli
|
Dumaloq shakl
|
Vizual tekshirish
|
|
Perpendikulyarit
|
0,8 mm dan kam yoki unga teng
|
|
|
TTV (umumiy qalinligi o'zgarishi) |
Dan kam yoki unga teng 27 µm |
Tekshirish tizimi |
4.Sirt xususiyatlari
|
Mulk |
Spetsifikatsiya |
Tekshirish usuli |
|
Sirt fazilatlari
|
Dog ', yog', tirnalgan, yoriq, urish, urish,
Pinhole va egizak nuqsonlari emas
ruxsat berilgan
|
Vizual tekshirish
|
|
Chip
|
Sirt chipiga ruxsat berilmaydi;
Arris: chiplar izchil emas:
Arrisda 10 dan kam, diapazon 0,3 mm ga teng yoki unga teng;
|
Ximer
|
|
Sirtli qo'pol
|
Samolyot yuzasi: 0,6umdan kam yoki unga teng;
Kamerli sirt: 1 dan kam yoki unga teng
|
Yuza pürüzment metr
|
Issiq teglar: n - Xitoyda Xitoyda ishlab chiqaruvchilar, Xitoy, etkazib beruvchilar, zavod, zavod turi
